為了提高元件(如晶體管)和金屬材料的耐溫、耐腐蝕等特性,需要在表面噴鍍或擴散滲透一層至多層金屬薄膜。薄膜厚度在10埃到幾個微米左右。對于極薄的單金屬薄層可以用特征x射線的強度變化來對其厚度進行測定。其方法是:先MI1出薄膜金屬的特征x射線強度,除以純金屬塊相同波長x射線的強度而換算成相對強度百分值,然后用此值查對標準曲線,即可N'l1到金屬薄膜的厚度。
標準曲線是將一系列已知厚度(厚度可用光學干涉等方法測量)的薄膜測出其相對強度百分值后繪出的。由于這種側(cè)厚法要求在測量樣品厚度時的實驗條件應與標準曲線一致,而且薄膜下的基底也應是相同的材料,所以只適用于對大量薄膜產(chǎn)品進行檢驗方法。
雖然如此,但它仍有其獨特的優(yōu)點,例如對那些合金薄膜或腐蝕薄膜,擴散滲透薄膜等多元素組成的薄膜,在測最其厚度的同時,尚可測定薄膜中的元素組成,因為相對強度百分值代表的是質(zhì)量厚度(毫克/厘米,)而并不是直接代表單純的厚度(厘米),所以薄膜中各個組成的毫克/厘米2值相加起來,即可以得到總的成分。
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